Indholdsfortegnelse:
Definition - Hvad betyder nanolitografi?
Nanolithography er en gren af nanoteknologi og navnet på processen til at trykke, skrive eller etse mønstre på et mikroskopisk niveau for at skabe utroligt små strukturer. Denne proces bruges typisk til at oprette mindre og hurtigere elektroniske enheder, såsom mikro / nanochips og processorer. Nanolithography bruges hovedsageligt inden for forskellige teknologisektorer fra elektronisk til biomedicinsk.Techopedia forklarer Nanolithography
Nanolithography er et bredt udtryk, der bruges til at beskrive forskellige processer til at skabe nanoskala-mønstre på forskellige medier, hvis mest almindelige er halvledermaterialets silicium. Det overvejende formål med nanolithografi er krympningen af elektroniske enheder, der gør det muligt at klæbe flere elektroniske dele ind i mindre rum, dvs. mindre integrerede kredsløb, der resulterer i mindre enheder, som er hurtigere og billigere at fremstille, da færre materialer er påkrævet. Dette øger også ydelse og responstider, fordi elektronerne kun behøver at køre meget korte afstande.
Nogle teknikker anvendt i nanolithografi er som følger:
- Røntgenlitografi - Implementeret gennem en nærhedsudskrivningstilgang og er afhængig af nærfelt-røntgenstråler i Fresneldiffraktion. Det er kendt at udvide sin optiske opløsning til 15 nm.
- Dobbelt mønstring - En metode, der bruges til at forøge tonehøjdeopløsningen for en litografisk proces ved at udskrive yderligere mønstre mellem mellemrum på allerede udskrevne mønstre i det samme lag.
- Elektronstråle direkte skrivning (EBDW) litografi - Den mest almindelige proces, der bruges i litografi, der bruger en stråle af elektroner til at skabe mønstre.
- Ekstrem ultraviolet (EUV) litografi - En form for optisk litografi, der bruger ultrashort lysbølgelængder på 13, 5 nm.
